特許
J-GLOBAL ID：200903028277825420
基板表面処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-168714
公開番号（公開出願番号）：特開平8-017894
出願日： 1994年06月27日
公開日（公表日）： 1996年01月19日
要約：
【要約】【目的】 搬送用カセットの収納ピッチに依存せず最適ピッチで表面処理を行なう基板表面処理装置を提供する。【構成】 所定の収納ピッチで処理前の基板を収納した搬送用カセット7が搬入口11から搬入され載置台12に載置される。ローダ部基板移替えロボット13はその搬送用カセット7から、最適ピッチで基板を収納する載置台14上の空の処理用カセット8へ基板を移替え、その後処理用カセット8は起立され所定の搬送経路に沿って、各処理槽21a〜21gで洗浄・乾燥処理が施され再び横転されて載置台31に載置される。アンローダ部基板移替えロボット32はその処理用カセット8から、載置台12より搬送された載置台33上の空の搬送用カセット7へ基板を移替え、その後搬送用カセット7は搬出口34から搬出される。
請求項（抜粋）：
カセットに収納された複数枚の基板に対して表面処理を行なう基板表面処理装置であって、複数枚の基板を所定のピッチで収納する搬送用カセットが載置される搬送用カセット移替え部と、前記搬送用カセットとは異なるピッチで、複数枚の基板を収納する処理用カセットが載置される処理用カセット移替え部と、前記搬送用カセット移替え部の搬送用カセットと、前記処理用カセット移替え部の処理用カセットとの間で、各カセットの収納ピッチで各基板が収納されるように、複数枚の基板の移替えを行なう基板移替え手段と、前記処理用カセットに収納された複数枚の基板に対して基板の表面処理を行なう表面処理部と、前記基板移替え手段による、前記搬送用カセットから前記処理用カセットへの基板の移替えによって表面処理前の複数枚の基板が収納された処理用カセットを、前記処理用カセット移替え部から前記表面処理部を経て前記処理用カセット移替え部へ搬送する表面処理用搬送手段と、を備えたことを特徴とする基板表面処理装置。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, B65G 49/07
, H01L 21/304 341
, H01L 21/306
