特許

J-GLOBAL ID：200903028283493919

固体撮像装置とその製造方法

発明者： 後 利彦 ,  織田 一彦 ,  松浦 尚
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (6件)： 深見 久郎 ,  森田 俊雄 ,  仲村 義平 ,  堀井 豊 ,  野田 久登 ,  酒井 將行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-297791
公開番号（公開出願番号）：特開2007-109801
出願日： 2005年10月12日
公開日（公表日）： 2007年04月26日
要約：

【課題】固体撮像装置における光学部品を改善し、それによって固体撮像装置を薄型化かつ軽量化し、さらに固体撮像装置における光の利用効率を改善する【解決手段】固体撮像装置は、アレイ状に配列された複数のフォトダイオード領域(2)と、各フォトダイオード領域の周囲に存在する不透光性境界領域(6)と、複数のフォトダイオード領域に対応してアレイ状に配列された複数のマイクロレンズを含むマイクロレンズアレイ(8a)とを備え、各マイクロレンズはそれに対応するフォトダイオード領域の周囲の不透光性境界領域ヘ直進しようとする入射光(7)をその対応するフォトダイオード領域内へ集光するように作用し、マイクロレンズアレイは透光性DLC膜を用いて形成されており、そのDLC膜は各マイクロレンズに対応して屈折率が変調させられた領域を含み、その屈折率が変調させられた領域を光束が通過するときに集光作用を生じる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

固体撮像装置であって、 アレイ状に配列された複数のフォトダイオード領域と、各前記フォトダイオード領域の周囲に存在する不透光性境界領域と、前記複数のフォトダイオード領域に対応してアレイ状に配列された複数のマイクロレンズを含むマイクロレンズアレイとを備え、 各前記マイクロレンズはそれに対応する前記フォトダイオード領域の周囲の前記不透光性境界領域ヘ直進しようとする入射光をその対応するフォトダイオード領域内へ集光するように作用し、 前記マイクロレンズアレイは透光性ダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜を用いて形成されており、前記DLC膜は各前記マイクロレンズに対応して屈折率が変調させられた領域を含み、その屈折率が変調させられた領域を光束が通過するときに集光作用を生じることを特徴とする固体撮像装置。

IPC (3件)：

H01L 27/14 ,  G02B 3/00 ,  H04N 5/335

FI (3件)：

H01L27/14 D ,  G02B3/00 A ,  H04N5/335 U

Fターム (15件)：

4M118AA10 ,  4M118BA13 ,  4M118BA14 ,  4M118EA01 ,  4M118FA06 ,  4M118FA08 ,  4M118GC08 ,  4M118GC14 ,  4M118GD04 ,  4M118GD09 ,  4M118GD10 ,  4M118GD20 ,  5C024CY47 ,  5C024EX43 ,  5C024GX03