特許
J-GLOBAL ID：200903028288006455
イオン源電極
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
絹谷 信雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-004121
公開番号（公開出願番号）：特開平6-215895
出願日： 1993年01月13日
公開日（公表日）： 1994年08月05日
要約：
【要約】【目的】 ビーム径を大きくするために径を大きくしても、歪みを生じることなくビームが均一にできるイオン源電極を提供する。【構成】 開口部の直径方向に剛性を有する梁部材2を差し渡し、この梁部材2に上記開口部を覆い多数の引き出し孔5を有する薄い電極板3を、その電極板3の面方向に相対移動を許容させて取り付けた。
請求項（抜粋）：
イオン源のプラズマ室開口部に設けられ、プラズマ室からイオンビームを引き出すための電極において、上記開口部の直径方向に剛性を有する梁部材を差し渡し、この梁部材に上記開口部を覆い多数の引き出し孔を有する薄い電極板を、その電極板の面方向に相対移動を許容させて取り付けたことを特徴とするイオン源電極。
IPC (2件)：
引用特許：
審査官引用 (3件)
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特開平3-127441
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特開昭61-118937
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特開昭63-119136
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