特許
J-GLOBAL ID：200903028289161900
レーザ照射装置及びレーザ照射方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
絹谷 信雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-074159
公開番号（公開出願番号）：特開2002-280322
出願日： 2001年03月15日
公開日（公表日）： 2002年09月27日
要約：
【要約】【課題】 構成が簡単で調整が容易なダブルパルスビームが得られるレーザ照射装置及びレーザ照射方法を提供する。【解決手段】 発振器1から出射したP偏光のレーザ光をλ/4板4で右円偏光の第一パルスビームとして照射対象物3に照射し、照射対象物3で反射した左円偏光の反射レーザ光をλ/4板4でS偏光の反射レーザ光として偏光分離素子2で反射させ、偏光分離素子2で反射した反射レーザ光を0度ミラー5で偏光分離素子2に反射させλ/4板4を透過させて円偏光の第二パルスビームとして照射対象物3に照射する。したがって照射対象物3に第一パルスビームが照射された後、連続して第二パルスビームが照射される。主要機構は、三つの光学部品2、4、5だけで構成されており、遅延光路によるダブルパルス法と比べて少ない部品で構成でき、0度ミラー5の調整だけで簡単に光軸合わせができる。
請求項（抜粋）：
直線偏光のレーザ光を出射するレーザ光源と、該レーザ光の光軸上に所定の角度で配置された偏光分離素子と、該偏光分離素子と照射対象物との間の光軸上に配置されたλ/4板と、上記照射対象物の照射面で反射した後、上記光軸を通って上記λ/4板を透過し、上記偏光分離素子で反射した反射レーザ光を上記偏光分離素子に反射させ、上記光軸を通って上記λ/4板を透過させ上記照射対象物に再度照射させる0度ミラーとを備えたことを特徴とするレーザ照射装置。
IPC (4件)：
H01L 21/268
, B23K 26/06
, G02B 27/28
, H01L 21/20
H01L 21/268 J
, B23K 26/06 E
, B23K 26/06 Z
, G02B 27/28 Z
, H01L 21/20
2H099AA17
, 2H099BA09
, 2H099CA05
, 2H099CA07
, 4E068CB08
, 4E068CD11
, 5F052AA02
, 5F052BA14
, 5F052BB02
, 5F052DA02
, 5F052JA01
