特許

J-GLOBAL ID：200903028303115398

画像処理方法及びその装置

発明者： 奥田 健太郎
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-165168
公開番号（公開出願番号）：特開平8-029117
出願日： 1994年07月18日
公開日（公表日）： 1996年02月02日
要約：

【要約】【目的】本発明は、各画像データの線幅が異なっていもこれら画像データ間に位置ずれを発生せずに位置合わせすること。【構成】画像切り出し部(18)により参照画像データ(1) と検査画像データ(2) の端に掛かるパターンを削除するとともにエッジを有するパターンを切り出し、これら切り出された各画像データの重心位置を重心算出部(19)により算出する。そして、位置ずれ量検出部(20)により各重心位置から各画像データ(1,2) 間の位置ずれ量を検出し、これら位置ずれ量に基づいて位置補正部(21)により各画像データ(1,2) の位置補正を行う。

請求項（抜粋）：

少なくとも2つの画像データにおいてエッジを有するパターンを切り出す第1のステップと、この第1のステップによりパターンの切り出された各画像データの重心位置を算出する第2のステップと、この第2のステップにより算出された各重心位置から前記各画像データ間の位置ずれ量を検出する第3のステップと、を有することを特徴とする画像処理方法。

IPC (6件)：

G01B 11/00 ,  G03G 15/36 ,  G06T 7/00 ,  G06T 7/60 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/66

FI (4件)：

G03G 21/00 382 ,  G06F 15/62 405 C ,  G06F 15/70 350 Z ,  H01L 21/30 502 V