特許
J-GLOBAL ID：200903028309809979
ドレッサ及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
内山 充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-083277
公開番号（公開出願番号）：特開平10-249708
出願日： 1997年03月17日
公開日（公表日）： 1998年09月22日
要約：
【要約】【課題】ケミカルメカニカルポリッシング用の研磨パッドのドレッシングに際して、研磨パッドを金属分により汚染するおそれがなく、砥粒が脱落するおそれのないドレッサ、及び、砥粒の突出量を容易に短時間で調整することができる該ドレッサの製造方法を提供する。【解決手段】台金上に結合材により固着されたダイヤモンド砥粒を有し、結合材が合成樹脂層により被覆され、ダイヤモンド砥粒の先端作用部が合成樹脂層より突出してなることを特徴とするドレッサ、及び、台金の作用面にロウ材を設置し、その上にダイヤモンド砥粒を載置し、加圧加熱して、ダイヤモンド砥粒を台金にロウ材により固着してダイヤモンド砥粒層を形成したのち、又は、台金の作用面にダイヤモンド砥粒を仮固定し、ダイヤモンド砥粒を溶射により固着してダイヤモンド砥粒層を形成したのち、ダイヤモンド砥粒層を合成樹脂で覆い、ドレッサの表面に金属が露出しないようにした該ドレッサの製造方法。
請求項（抜粋）：
台金上に結合材により固着されたダイヤモンド砥粒を有し、結合材が合成樹脂層により被覆され、ダイヤモンド砥粒の先端作用部が合成樹脂層より突出してなることを特徴とするドレッサ。
IPC (2件)：
B24B 37/00
, H01L 21/304 321
B24B 37/00 A
, H01L 21/304 321 A
