特許

J-GLOBAL ID：200903028310360438

フォトレジストのストリッピングおよびクリーニング用組成物

発明者： ケンジ・ホンダ ,  タイシー・モー ,  ドナルド・エフ・ペリー
出願人/特許権者： オリン・マイクロエレクトロニツク・ケミカルズ・インコーポレイテツド
代理人 (1件)： 高木 千嘉 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-240788
公開番号（公開出願番号）：特開平10-097080
出願日： 1997年09月05日
公開日（公表日）： 1998年04月14日
要約：

【要約】【課題】 新規なフォトレジストのストリッピングおよびクリーニング組成物の提供【解決手段】 このストリッピングおよびクリーニング用組成物は、水、少なくとも一つのアミン化合物および、(a)珪酸第4級アンモニウムと(b)分子量が約220〜約5,000である、カテコール核を含むオリゴマーとから選択される少なくとも一つの腐蝕防止剤、そして望むなら極性の有機溶媒からなる。

請求項（抜粋）：

(A) 水、(B) 少なくとも一つのアミン化合物、(C) (a)珪酸第4級アンモニウムと(b)分子量が220〜5,000のカテコール核を含むオリゴマーとからなる群から選択される少なくとも一つの腐蝕防止剤および(D) 望むなら極性の有機溶媒からなることを特徴とするストリッピングおよびクリーニング用組成物。