ベルト搬送式CVD装置搬送用ベルト

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：京本直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-200141
公開番号（公開出願番号）：特開平11-043772
出願日： 1997年07月25日
公開日（公表日）： 1999年02月16日
要約：

【要約】【課題】反応室床部同様、搬送ベルトにも反応生成物付着はあるが、搬送ベルトへの付着量は極めて微量であり、反応生成物の大半は反応室床部に堆積する。その為、短期間の内に反応室床部に反応生成物が堆積し、装置内クリーニングを目的とした定期メンテナンスが必要となる。つまり、いかにして反応室床部に堆積する反応性生物の量を低減させるかという課題を解決する事によって、定期メンテナンス頻度が延長・長期化できる。【解決手段】搬送ベルト10の表面積を増大させることで、そこで発生する反応生成物を装置内で順次クリーニングされる搬送ベルト10多量に付着させ、反応室床部に堆積する反応生成物の量を最低限にする。

請求項（抜粋）：

ウェハーを循環する搬送用ベルトに載せて成膜場所の反応室床部の搬送ベルトまで搬送し反応生成物の成膜を行うベルト搬送式CVD装置搬送用ベルトにおいて、前記搬送ベルトの表面を増大させる手段によって前記搬送ベルトに付着する量を増加させて前記反応室床部への堆積を低減させ装置のメンテナンス頻度を延長させる事を特徴とするベルト搬送式CVD装置搬送用ベルト。

IPC (3件)：

C23C 16/44 , H01L 21/31 , H01L 21/205

FI (4件)：

C23C 16/44 J , C23C 16/44 F , H01L 21/31 B , H01L 21/205

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