特許

J-GLOBAL ID：200903028318117273

露光装置

発明者： 奈良 圭 ,  白数 廣
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 平木 祐輔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-169900
公開番号（公開出願番号）：特開平10-020478
出願日： 1996年06月28日
公開日（公表日）： 1998年01月23日
要約：

【要約】【課題】 マスクを人手により取り出すことなくマスクの異物除去作業を行う。【解決手段】 露光装置本体内にマスクの異物除去室60を設け、異物検査部でパターン転写に影響がある異物が付着していると判定されたマスクMを本体内のマスク搬送系8を用いて異物除去室に自動搬送する。異物除去は、エアーガン68によってエアーを吹き付けることによって行う。マスクから除去された異物が浮遊して装置本体内部を汚染したり再付着することがないように、異物除去室と露光装置の他の空間とは隔壁61a,61b,61cによって隔離し、クリーンエアーによるダウンフロー66を発生させておく。異物除去室の近傍に異物の検出結果を表示するマップ表示器80を設ける。

請求項（抜粋）：

パターンが形成されたマスクを透過した光を感光基板に投影する投影光学系と、前記投影に先立って前記マスクに付着した異物を検出する異物検査部とを備えた露光装置において、前記異物の除去を行う異物除去室を設けたことを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

G03F 1/08 ,  H01L 21/027 ,  G01N 21/88

FI (4件)：

G03F 1/08 X ,  G01N 21/88 E ,  H01L 21/30 503 G ,  H01L 21/30 514 E