特許
J-GLOBAL ID：200903028342413150
静電チャック
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
亀谷 美明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-354709
公開番号（公開出願番号）：特開平6-182645
出願日： 1992年12月17日
公開日（公表日）： 1994年07月05日
要約：
【要約】【目的】 リークトラブルがなく構造の簡単な静電チャックを提供する。【構成】 本発明の静電チャックは、静電チャックのサセプタの上面(載置面)に溝条を形成し、その溝条と冷却媒体源とを冷媒供給管路により連通し、静電チャックシートにそのシートを垂直方向に貫通する複数の孔を穿設し、それらの孔の開口位置を上記溝条に沿ってかつその直上に配置するように構成される。そのためサセプタからのリークトラブルがなく、また均一の圧力で冷却ガスを静電チャックシートの裏面に供給できる。
請求項（抜粋）：
サセプタの載置面に被処理体を静電力で吸着保持するための静電チャックシートを設けた静電チャックにおいて、上記サセプタの載置面に溝条を形成し、その溝条と冷却媒体源とを冷媒供給管路により連通し、上記静電チャックシートにそのシートを垂直方向に貫通する複数の孔を穿設し、それらの孔の開口位置を上記溝条に沿ってかつその直上に配置したことを特徴とする静電チャック。
IPC (5件)：
B23Q 3/15
, H01L 21/302
, H01L 21/68
, H01L 23/40
, H02N 13/00
