特許
J-GLOBAL ID：200903028347127326
水晶振動子の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 富士弥 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-045158
公開番号（公開出願番号）：特開平8-242134
出願日： 1995年03月06日
公開日（公表日）： 1996年09月17日
要約：
【要約】【目的】 水晶の異方性の影響が小さく、かつ水晶表面を滑らかに加工することのできる水晶振動子の製造方法を提供する。【構成】 水晶基板のエッチング工程を有する水晶振動子の製造方法において、、水晶基板上にエッチングガスを流通させて電圧を印加するリアクティブイオンエッチングを行う。好ましくは、リアクティブイオンエッチングの前段で、前記水晶基板を所望の平滑度まで平滑化しておく。また、前記エッチングガスとして、好ましくはフッ化炭化水素を用いる。
請求項（抜粋）：
水晶基板のエッチング工程を有する水晶振動子の製造方法において、前記エッチング工程は、前記水晶基板上にエッチングガスを流通させて電圧を印加するリアクティブイオンエッチング工程を有することを特徴とする水晶振動子の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H03H 3/02 B
, H01L 21/302 F
