特許
J-GLOBAL ID：200903028362887728
微動ステージ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西澤 利夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-148598
公開番号（公開出願番号）：特開平9-005635
出願日： 1995年06月15日
公開日（公表日）： 1997年01月10日
要約：
【要約】【目的】 微動ステージを小型軽量としながらも長い動作範囲を可能とする。【構成】 着磁性を有する2本の棒体(1a,1b)が間隔を隔てて基部(2)上に立設され、L字型形状を有し、駆動手段(5,6,7,8)に接続されたステージ部(3)が、その内側角部において、一方の棒体(1a)の側面と2面で接し、他方の棒体(1b)とは端部内面でその側面と接するとともに、ステージ部(3)には、棒体(1a,1b)と接触する角部及び端部に磁石(4a,4b)が埋設されており、この磁石(4a,4b)の磁力によって、棒体(1a,1b)をステージ部(3)との接触面に対して垂直方向に吸引し、ステージ部(3)を、駆動手段(5,6,7,8)からの駆動力によって、2本の棒体(1a,1b)の側面に沿わせながら棒体(1a,1b)の軸方向に摺動させる。
請求項（抜粋）：
着磁性を有する2本の棒体が間隔を隔てて基部上に立設され、L字型形状を有し、駆動手段に接続されたステージ部が、その内側角部において、一方の棒体の側面と2面で接し、他方の棒体とは端部内面でその側面と接するとともに、ステージ部には、棒体と接触する角部及び端部に磁石が埋設されており、この磁石の磁力によって、棒体がステージ部との接触面に対して垂直方向に吸引され、ステージ部は、駆動手段からの駆動力によって、2本の棒体の側面に沿いながら棒体の軸方向に摺動することを特徴とする微動ステージ。
IPC (4件)：
G02B 21/26
, F16H 25/20
, G01N 1/28
, G01N 37/00
G02B 21/26
, F16H 25/20 Z
, G01N 37/00 A
, G01N 1/28 W
