特許

J-GLOBAL ID：200903028368297353

スピンコート装置、及び光ディスクの製造方法

発明者： 宇佐美 由久
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 中島 淳 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-205433
公開番号（公開出願番号）：特開2000-033318
出願日： 1998年07月21日
公開日（公表日）： 2000年02月02日
要約：

【要約】【課題】 濃度の低い塗布液を用いて、少ない塗布量で所望の厚さの塗膜を提供すると共に、処理時間を短縮する。【解決手段】 本発明のスピンコート装置10は、ディスク状基板1を保持すると共に回転させるスピナーヘッド装置13、及び塗布液を基板1の表面に付与するためのスプレーノズル12を備える。

請求項（抜粋）：

円盤状基板を保持すると共に回転させる回転手段、及び塗布液を該基板の表面に付与するためのノズルを備えたスピンコート装置であって、該ノズルがスプレーノズルであることを特徴とするスピンコート装置。

IPC (4件)：

B05C 11/08 ,  B05D 1/02 ,  B05D 1/40 ,  G11B 7/26 531

FI (4件)：

B05C 11/08 ,  B05D 1/02 Z ,  B05D 1/40 A ,  G11B 7/26 531

Fターム (15件)：

4D075AA01 ,  4D075AC64 ,  4D075AC86 ,  4D075CA48 ,  4D075DA08 ,  4D075DB14 ,  4D075DC22 ,  4D075EA05 ,  4D075EA45 ,  4F042AA08 ,  4F042AB00 ,  4F042EB17 ,  5D121AA01 ,  5D121EE22 ,  5D121EE24