特許

J-GLOBAL ID：200903028377072607

薄膜圧電素子

発明者： 浅海 一志 ,  松広 泰 ,  伊藤 岳志 ,  頼永 宗男 ,  吉野 好 ,  三浦 和彦
出願人/特許権者： 株式会社日本自動車部品総合研究所 ,  株式会社デンソー
代理人 (1件)： 石田 敬 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-070558
公開番号（公開出願番号）：特開平9-260735
出願日： 1996年03月26日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：

【要約】【課題】 酸化亜鉛薄膜上に電極を設けた加速度センサ等の薄膜圧電素子において、電極形成後の熱処理による圧電特性の低下を防止し、良好なセンサ感度を確保する。【解決手段】 酸化亜鉛薄膜上の電極を、従来のAlまたはCrに代えてTiWまたはTiNで形成するか、あるいは酸化亜鉛薄膜上にTiWまたはTiNの介在層を形成し、この介在層上にAlまたはCrの電極を形成する。

請求項（抜粋）：

基板と、該基板上の酸化亜鉛薄膜と、該薄膜上のTiWまたはTiNから成る電極とを備えた薄膜圧電素子。

IPC (4件)：

H01L 41/08 ,  G01P 15/09 ,  H01L 21/28 301 ,  H01L 29/84

FI (5件)：

H01L 41/08 Z ,  G01P 15/09 ,  H01L 21/28 301 R ,  H01L 29/84 Z ,  H01L 41/08 D

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭59-005725
  
• 特開昭64-019763