特許
J-GLOBAL ID：200903028383581246
切断ライン測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
和田 成則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-076472
公開番号（公開出願番号）：特開平8-075432
出願日： 1995年03月31日
公開日（公表日）： 1996年03月22日
要約：
【要約】【目的】 切断ラインの輪郭追跡の誤りを高い確率で検出でき、切断幅等の測定に好適な切断ライン測定装置を提供する。【構成】 切断ライン2の両側2a,2bから輪郭追跡を実行する。一方側2aからの輪郭追跡は第1の基点P1を基に、また他方側2bからの輪郭追跡は第2の基点P2を基に行なう。輪郭追跡の正誤を判定は一方側2aからの輪郭追跡結果と他方側2bからの輪郭追跡結果とに基づき実行する。
請求項（抜粋）：
半導体ウエハー等の切断ラインを撮像する撮像手段と、上記切断ラインの測定範囲を設定する範囲設定手段と、上記撮像手段から出力される上記測定範囲内の画像信号を画像データとして画像メモリに取り込むデータ取込手段と、上記画像メモリ内に取り込まれた画像データを2値画像データに変換する2値化手段と、上記2値画像データを基に切断ラインの一方側から他方側に向かって切断ラインの輪郭を追跡する第1の輪郭追跡手段と、上記2値画像データを基に切断ラインの他方側から一方側に向かって切断ラインの輪郭を追跡する第2の輪郭追跡手段と、上記第1の輪郭追跡手段による追跡結果と第2の輪郭追跡手段による追跡結果とに基づき輪郭追跡の正誤を判定する判定手段とを備えることを特徴とする切断ライン測定装置。
IPC (5件)：
G01B 11/24
, B26D 5/30
, G06T 7/00
, G06T 9/20
, H01L 21/301
G06F 15/62 405 A
, G06F 15/70 340
, H01L 21/78 C
