不純物が添加された有機ポリシラン薄膜又は炭化ケイ素薄膜及びその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷川曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-269891
公開番号（公開出願番号）：特開平6-116097
出願日： 1992年10月08日
公開日（公表日）： 1994年04月26日
要約：

【要約】【構成】不純物が添加された有機ポリシラン薄膜又は炭化ケイ素薄膜並びに有機シラン原料を減圧下で加熱することにより、基板上に蒸着して得られた有機ポリシラン薄膜に不純物を添加するかもしくはその薄膜形成時に不純物を共存させることにより不純物が添加された有機ポリシラン薄膜又は炭化ケイ素薄膜を製造すること。

請求項（抜粋）：