ウエハー吸着加熱装置及びウエハー吸着装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中村友之 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-077578
公開番号（公開出願番号）：特開2003-347396
出願日： 1991年11月19日
公開日（公表日）： 2003年12月05日
要約：

【要約】【課題】高真空条件下、高い均熱性でウエハーを200°C以上の高温に加熱する。【解決手段】セラミックス焼結体からなる基体と、基体の内部に埋設された抵抗発熱体と、基体の一方の主面上に形成された電極と、電極を覆うように一方の主面側に形成されたセラミックス焼結体からなる誘電体層とを有しており、電極は、面状の穴明き形状を有し、基体及び誘電体層と、スキマがない状態で接合している。ウエハーとセラミックス誘電体層との間にクーロン力を発生させ、ウエハーをウエハー吸着面へと吸着し、抵抗発熱体に通電してウエハー吸着面から発熱させ、吸着されたウエハーを加熱する。

請求項（抜粋）：

10-3Torr以下の真空条件で、ウエハーを吸着した状態で該ウエハーを加熱するための装置であって、セラミックス焼結体からなる基体と、前記基体の内部に埋設された抵抗発熱体と、前記基体の一方の主面上に形成された電極と、前記電極を覆うように前記一方の主面側に形成されたセラミックス焼結体からなる誘電体層とを有しており、前記誘電体層のウエハー吸着面へと前記ウエハーを吸着した状態で、前記抵抗発熱体の発熱によりこのウエハーを加熱しうるように構成されており、前記基体及び前記誘電体層の材質が、窒化珪素、サイアロン及び窒化アルミニウムからなる群より選ばれた一種以上の同種のセラミックスからなり、前記電極は、面状の穴明き形状を有し、前記基体及び前記誘電体層と、スキマがない状態で接合していることを特徴とするウエハー吸着加熱装置。

IPC (6件)：

H01L 21/68 , C04B 35/495 , H01L 21/02 , H05B 3/03 , H05B 3/18 , H05B 3/74

FI (6件)：

H01L 21/68 R , H01L 21/02 Z , H05B 3/03 , H05B 3/18 , H05B 3/74 , C04B 35/00 J

Fターム (29件)：

3K092PP20 , 3K092QA05 , 3K092QB02 , 3K092QB13 , 3K092QB32 , 3K092QB44 , 3K092QB62 , 3K092QB74 , 3K092QC02 , 3K092QC20 , 3K092QC49 , 3K092RF03 , 3K092VV22 , 4G030AA36 , 4G030AA37 , 4G030AA51 , 4G030AA52 , 4G030BA09 , 4G030CA08 , 4G030GA33 , 5F031CA02 , 5F031HA02 , 5F031HA03 , 5F031HA17 , 5F031HA18 , 5F031MA28 , 5F031MA29 , 5F031NA05 , 5F031PA11

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭62-086837
特開昭62-286248
特開昭63-095644

全件表示

前のページに戻る