冷媒を向け、循環温度制御流体を回収する、傾斜偏向面付き熱交換器を有するチャック

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：吉田研二 , 石田純
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-509090
公開番号（公開出願番号）：特表2004-502918
出願日： 2001年07月09日
公開日（公表日）： 2004年01月29日
要約：

ワークピース内の温度を制御するシステムと方法が述べられる。流体循環システムはワークピースチャックを通って合成HFE流体等の温度制御流体を循環する。流体循環システムに連結された流体回収システムが流体チューブとチャック内の流体通路を含む流体循環システムを通って気体を循環させることにより流体循環システムから温度制御流体の一部を回収する。気体(空気でもよい)は循環されながら流体循環システムの残留または過剰流体の一部を運ぶ。残留流体はタンクに戻されてチャックの温度を制御するために引き続き用いることができる。気体と温度制御流体蒸気がタンクから換気されて、それらは蒸気を凝縮する吸入ライン熱交換器を通って流される。気体と凝縮された流体は流体分離器内で分離される。分離された流体はタンクに戻され、分離された空気は大気に排気される。

請求項（抜粋）：

温度制御システム用の熱交換器であって、冷媒が前記熱交換器に入る入口と、複数のプレートと、前記プレートの上に前記冷媒を向ける、前記入口の近傍にある偏向面とを備え、前記冷媒が前記プレートに分配されるように前記偏向面が傾斜していることを特徴とする熱交換器。

IPC (6件)：

F28F9/22 , F25B41/00 , F25D17/02 , H01L21/02 , H01L21/66 , H01L21/68

FI (6件)：

F28F9/22 , F25B41/00 D , F25D17/02 303 , H01L21/02 Z , H01L21/66 B , H01L21/68 N

Fターム (13件)：

3L065DA15 , 4M106AA01 , 4M106BA01 , 4M106DH45 , 4M106DH46 , 4M106DJ01 , 5F031CA02 , 5F031HA02 , 5F031HA37 , 5F031HA38 , 5F031JA01 , 5F031JA46 , 5F031MA33

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