特許

J-GLOBAL ID：200903028393103040

固体撮像素子

発明者： 菊地 勝
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 上柳 雅誉 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-087127
公開番号（公開出願番号）：特開2003-282850
出願日： 2002年03月26日
公開日（公表日）： 2003年10月03日
要約：

【要約】【課題】入射した光の水平方向の進行を阻止して他の画素への侵入を防止し、画像を鮮明にすると共に、色の再現性を向上させる。【解決手段】受光領域3上及びフィールド絶縁膜5上には層間絶縁膜6が形成される。層間絶縁膜6上には遮光膜7が形成されて、受光窓15を区画する。フィールド絶縁膜5と遮光膜7との間には遮光壁11が形成され、遮光壁11は、受光領域3上方の空間の全域を囲む。遮光膜7を介して入射した光は、受光領域3に入射する。層間絶縁膜6内を乱反射した光は、遮光壁11及び遮光膜7によって水平方向の進行は阻止され、他の画素に侵入することはない。これにより、画像は鮮明となり、色の再現性も向上する。

請求項（抜粋）：

基板上に2次元アレイ状に配列された複数の受光領域を有する複数の光電変換素子と、前記基板及び前記複数の受光領域上に形成される層間絶縁膜と、前記層間絶縁膜上に形成されて前記複数の受光領域以外の部分への光の入射を阻止するための遮光膜と、前記層間絶縁膜内において前記受光領域上方の空間を囲み前記層間絶縁膜の下端から上端まで形成された遮光壁とを具備したことを特徴とする固体撮像素子。

IPC (2件)：

H01L 27/14 ,  H04N 5/335

FI (2件)：

H04N 5/335 U ,  H01L 27/14 D

Fターム (19件)：

4M118AA05 ,  4M118AB01 ,  4M118BA14 ,  4M118CA03 ,  4M118CA34 ,  4M118FA06 ,  4M118GA09 ,  4M118GB14 ,  4M118GB15 ,  4M118GC07 ,  4M118GD04 ,  5C024AX01 ,  5C024CX01 ,  5C024CX03 ,  5C024CY27 ,  5C024CY47 ,  5C024GX03 ,  5C024GY31 ,  5C024GZ39