特許
J-GLOBAL ID：200903028396812913
姿勢角検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
影井 俊次
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-126543
公開番号（公開出願番号）：特開平5-087548
出願日： 1991年05月01日
公開日（公表日）： 1993年04月06日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 試料面が多少位置ずれした状態で配置されていても、試料面に所望のスポット径のレーザ光を照射してその姿勢角を極めて正確に検出することができるようにすることにある。【構成】 レーザ発振器2からのレーザ光をNDフィルタ4,エクスパンダレンズ5,偏光ビームスプリッタ6,対物レンズ7,λ/4波長板を順次介して試料面1に照射させ、その反射光を対物レンズ7の後側焦点位置に配設した位置検出手段としての2次元ポジションセンサ3に受光させ、このポジションセンサ3におけるレーザ反射光の受光位置P2の座標中心からのX軸方向及びY軸方向のずれ量を測定することによって、試料面1の姿勢角の方向と角度とを検出することができる。
請求項（抜粋）：
レーザ発振器と、このレーザ発振器から照射されるレーザ光を試料面に所定のスポット径となるように集光させると共に、その反射光を平行光とする対物レンズと、この対物レンズの後側焦点位置に配設した位置検出手段とを備え、試料面からの反射光がこの位置検出手段に受光されるスポット位置の中心からのずれ方向及びずれ量に基づいて試料面の姿勢角を検出する構成としたことを特徴とする姿勢角検出装置。
引用特許：
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