特許

J-GLOBAL ID：200903028403192101

金属フィルタ

発明者： 石部 英臣
出願人/特許権者： 日本精線株式会社
代理人 (1件)： 苗村 正 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-279899
公開番号（公開出願番号）：特開2000-185209
出願日： 1999年09月30日
公開日（公表日）： 2000年07月04日
要約：

【要約】【課題】 熔融ポリマなどの流動体、又は半導体製造用ガスなどの各種の気体などの流体を高精度かつ効率よく濾過しうる金属フィルタ。【解決手段】 単体では濾過圧に対して形状を維持できない厚さの微細濾過層と、この濾過層を積層一体化して形状を維持させる被覆面を有する焼結多孔性の支持体とからなる金属フィルタであって、前記微細濾過層の孔の平均空孔径を前記支持体の孔の平均空孔径よりも小とし、かつ前記支持体は前記被覆面が山部を有する凹凸に形成されることにより微細濾過層の濾過面を、その実濾過面積S1と、凹凸に形成しない場合の基準濾過面積S0との面積比S1/S0が1.3以上の起伏濾過面とするとともに、前記山部間の谷部における前記微細濾過層の平均厚さを山部での平均厚さよりも厚くし、かつ前記微細濾過層の濾過面を滑らかな曲面状に形成したことを特徴とする金属フィルタ。

請求項（抜粋）：

単体では濾過圧に対して形状を維持できない厚さの微細濾過層と、この濾過層を積層一体化して形状を維持させる被覆面を有する焼結多孔性の支持体とからなる金属フィルタであって、前記微細濾過層の孔の平均空孔径を前記支持体の孔の平均空孔径よりも小とし、かつ前記支持体は前記被覆面が山部を有する凹凸に形成されることにより微細濾過層の濾過面を、その実濾過面積S1と、凹凸に形成しない場合の基準濾過面積S0との面積比S1/S0が1.3以上の起伏濾過面とするとともに、前記山部間の谷部における前記微細濾過層の平均厚さを山部での平均厚さよりも厚くし、かつ前記微細濾過層の濾過面を滑らかな曲面状に形成したことを特徴とする金属フィルタ。

IPC (3件)：

B01D 39/20 ,  B01D 29/07 ,  B01D 46/52

FI (3件)：

B01D 39/20 A ,  B01D 46/52 C ,  B01D 29/06 510 D