特許

J-GLOBAL ID：200903028403925753

傾斜機能材料の製造方法

発明者： 湯浅 基和 ,  日野 守
出願人/特許権者： 積水化学工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-317754
公開番号（公開出願番号）：特開2000-144434
出願日： 1998年11月09日
公開日（公表日）： 2000年05月26日
要約：

【要約】【課題】 基材に、膜の厚み方向に連続的に組成が変化する傾斜機能薄膜を被覆でき、且つ、高度の真空度を必要とせず、大気圧近傍でプラズマ放電を行うことにより、高速で薄膜を形成できる傾斜機能材料の製造方法を提供する。【解決手段】 大気圧近傍の圧力下で、一対の対向電極3、4間に基材が配置され、該対向電極3、4間に電圧立ち上がり時間が100μs以下、電界強度が1〜100kV/cmのパルス状の電圧を印加して、放電プラズマ処理を行うに当たり、処理時間中に印加電圧又はパルス周波数を連続的に変化させる。

請求項（抜粋）：

大気圧近傍の圧力下で、一対の対向電極間に基材が配置され、該対向電極間に電圧立ち上がり時間が100μs以下、電界強度が1〜100kV/cmのパルス状の電圧を印加して、放電プラズマ処理を行うに当たり、処理時間中に印加電圧又はパルス周波数を連続的に変化させることを特徴とする傾斜機能材料の製造方法。

IPC (3件)：

C23C 16/515 ,  C23C 16/52 ,  G02B 1/10

FI (3件)：

C23C 16/50 G ,  C23C 16/52 ,  G02B 1/10 Z

Fターム (18件)：

2K009AA02 ,  2K009AA15 ,  2K009BB02 ,  2K009BB06 ,  2K009BB11 ,  2K009CC14 ,  2K009DD04 ,  4K030AA11 ,  4K030AA16 ,  4K030BA18 ,  4K030BA29 ,  4K030BB11 ,  4K030CA07 ,  4K030FA03 ,  4K030HA07 ,  4K030JA14 ,  4K030JA17 ,  4K030LA01