特許
J-GLOBAL ID:200903028405486285

蒸気発生装置、検出システムおよび蒸気生成の制御方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (5件): 杉村 憲司 ,  杉村 興作 ,  来間 清志 ,  藤谷 史朗 ,  澤田 達也
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-534070
公開番号(公開出願番号):特表2009-513950
出願日: 2006年10月04日
公開日(公表日): 2009年04月02日
要約:
IMS(4,104)または他の装置用の蒸気発生装置(1,101)は、蒸気が生成されるチャンバ(9,109)を有する。ファンまたは他の流発生装置(6,106)は、前記蒸気チャンバ(9,109)の蒸気チャンバ流入口(8,108)に接続され、蒸気チャンバ流出口(13,113)は、カーボンからなるブロック(15)を貫通するボアによって形成されるような吸着通路(14,114)に接続される。前記ファン(6,106)がオンの場合、ガスは、前記蒸気チャンバ(9,109)および前記吸着通路(14,114)を通って、少量の蒸気が前記通路に吸着されて、前記IMS(4,104)または他の出口に流れる。前記ファンがオフの場合、前記通路(14,114)から逃げるいかなる気体分子も、実質的に全てが吸着され、逃げないような低い速度で、前記蒸気チャンバ(9,109)および前記吸着通路(14,114)を通る。
請求項(抜粋):
蒸気を生成する蒸気チャンバ(9,109)、該蒸気チャンバにガスを流入させることができる蒸気チャンバ流入口(8,108)、および前記蒸気チャンバから蒸気を流出させることができる蒸気チャンバ流出口(13,113)を含む蒸気発生装置(1,101)において、 該蒸気発生装置は、前記蒸気チャンバ流出口(13,113)から延在する蒸気吸着通路(14,114)を含み、 該蒸気吸着通路(14,114)は、 前記蒸気チャンバ流出口(13,113)から流出する全てのガスおよび蒸気が、前記蒸気吸着通路(14,114)を通って流れるように構成され、かつ、 ガスが前記蒸気発生装置(1,101)を通って流れることによって生じない場合には、前記蒸気チャンバ(9,109)内で生成された蒸気は、前記通路(14,114)へ流れて蒸気流出口(3,103)までは実質的に通過しないことを確実にする速度で吸着されるが、ガスが前記蒸気発生装置(1,101)を通って流れることによって生じる場合には、前記蒸気は、十分に高い速度で蒸気吸着通路(14,114)を通って運ばれて、確実に前記蒸気流出口(3,103)から蒸気を流出するように構成されることを特徴とする蒸気発生装置。
IPC (2件):
G01N 1/00 ,  G01N 30/04
FI (3件):
G01N1/00 101Q ,  G01N30/04 A ,  G01N1/00 101R
Fターム (17件):
2G052AD26 ,  2G052AD47 ,  2G052CA03 ,  2G052CA04 ,  2G052CA08 ,  2G052CA14 ,  2G052DA22 ,  2G052EA03 ,  2G052EB01 ,  2G052ED07 ,  2G052FD17 ,  2G052GA11 ,  2G052GA24 ,  2G052GA27 ,  2G052JA08 ,  2G052JA16 ,  2G052JA23

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