特許
J-GLOBAL ID:200903028406834554
物体の寸法測定装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
八木田 茂 (外1名)
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-525283
公開番号(公開出願番号):特表平8-510328
出願日: 1994年05月13日
公開日(公表日): 1996年10月29日
要約:
【要約】測定台(6)が物体(1)に沿ってその上を動く物体(1)の寸法を測定する装置(5)。ポリゴンミラーユニット(32)は放射されたレーザ光(16)を受光し、このレーザ光(16)をミラーユニット(37,38)に向けて扇状に反射し、ミラーユニット(37,38)は、レーザ光を両凹固定ミラーユニット(39)に指向し、ミラーユニット(39)はレーザ光を垂直下方に物体に向けて屈曲する。ポリゴンミラーユニット(32)のミラー(40)を調節する手段(51-57)、漂遊光を分離する手段(69-71;69-74)、及びダイオードレーザ(76,97)及びレンズユニット(77;98)を調節する手段が設けられる。
請求項(抜粋):
光ビームを物体に向けて指向する手段、 物体から反射した光ビームを記憶する手段、 光ビームの物体への及び物体からの移動時間を計算する手段、 光ビームを、走査作用の間中、固定された平面に関して、及び装置と測定すべき物体との間の運動に関して垂直に物体を横切って走査させる手段を有し、 物体で反射した光ビームが、光ビーム記憶手段を介して光ビーム走査手段に戻り、 前記光ビーム走査手段が、長手方向に円弧を描く固定ミラーと回転ミラー手段とを含んでいる 物体の一つ又はそれ以上の寸法を測定するために物体の一つ又はそれ以上の領域への距離を測定する装置において、 第1ミラー、 第2平面ミラー、 第2平面ミラーに対して90度の角度を成す第3平面ミラー、及び 回転ポリゴンミラーユニットを構成する前記回転ミラーを備え、 光発生装置から放射されたライトビームが、前記第1ミラーを介して、ポリゴンミラーユニットへ、そこから第2ミラーへ、そこから第3ミラーへ、そこから固定ミラーへ、さらにそこから物体への移動軌跡を有し、 物体から反射した光ビームが、固定ミラー、前記第3及び第2ミラー、及びポリゴンミラーユニットを介して光ビーム記憶手段に戻る移動軌跡を有する ことを特徴とする物体の寸法測定装置。
IPC (2件):
FI (2件):
G01S 17/88 B
, G01B 11/02 Z
引用特許:
審査官引用 (4件)
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特開昭63-108208
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特開平1-313707
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特開平3-035110
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