特許

J-GLOBAL ID：200903028408680627

洗浄処理装置および処理装置の画面処理方法

発明者： 岩間 達之
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社 ,  東京エレクトロン九州株式会社
代理人 (1件)： 亀谷 美明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-214123
公開番号（公開出願番号）：特開平8-103739
出願日： 1995年07月31日
公開日（公表日）： 1996年04月23日
要約：

【要約】【課題】 専門オペレータ用メニューの保全および装置情報画面の最適化を図ることができる画面処理方法を提供する。【解決手段】 本発明によれば、たとえば専門オペレータが処理レシピ作成中に席を離れた場合であっても、専門オペレータによるキー入力が所定時間ない場合には、一般オペレータにより操作可能な制御用画面および装置に関する各種情報を表示する装置情報画面の中から予め選択された定常画面に自動的に戻るので、専門オペレータ以外の一般オペレータが、許可された画面以外にアクセスする可能性を最小限に抑えることが可能となる。また、装置情報画面に表示される情報を、処理装置により固定的に表示される固定情報と、処理装置が有する項目別情報の中からユーザにより予め選択された項目から成るユーザ情報とから構成することにより、処理環境またはオペレータに応じた柔軟な装置情報画面を構築することができる。

請求項（抜粋）：

被処理体が装置内に搬入されるローダ部と、被処理体が装置外に搬出されるアンローダ部とを備え、被処理体を薬液洗浄する1または2以上の薬液槽と、被処理体を純水洗浄する1または2以上の水洗槽とを少なくとも含む複数の処理槽と、被処理体を乾燥処理する乾燥器が、前記ローダ部と前記アンローダ部との間に順次配列されて成る洗浄処理装置を制御するためのオペレータ用画面処理方法であって、一般オペレータにより操作可能な制御用画面および装置に関する各種情報を表示する装置情報画面の中から定常画面を予め選択する定常画面設定工程と、キー入力の無い状態が所定時間経過した場合に、予め選択された定常画面に戻る工程と、から成ることを特徴とする、洗浄処理装置の画面処理方法。

IPC (3件)：

B08B 3/08 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304