特許
J-GLOBAL ID：200903028410564642
OLEDを製造するためのペレットを使用する蒸着源
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
青木 篤
, 石田 敬
, 古賀 哲次
, 出野 知
, 西山 雅也
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-521090
公開番号（公開出願番号）：特表2007-507601
出願日： 2004年07月06日
公開日（公表日）： 2007年03月29日
要約：
有機材料の薄い均一な層をコーティングできる熱物理蒸着源を提供する。ディスプレイを形成する際基板の表面に向かって有機材料の圧縮ペレットを気化する熱物理蒸着源は、各々圧縮ペレットを受け入れる複数の間隔の開いた通路を画定するハウジングと、ハウジングの間隔の開いた通路に対応する第1の複数の開口を備えたハウジングの上のカバープレートと、カバープレートの上に配置した電気ヒータ構造体とを含む。熱物理蒸着源はさらに、電気ヒータ構造体の上に配置したアパーチャプレートと、電気ヒータ構造体とアパーチャプレートとの間に位置する電気絶縁性スペーサ部材と、ペレットを気化し、材料の蒸気流出がカバープレート、ヒータ構造体、電気絶縁性スペーサ部材及びアパーチャプレートを通過して基板に向かうようにするのに十分な熱を発生する電流を電気ヒータ構造体に印加する回路とを含む。
請求項（抜粋）：
ディスプレイを形成する際基板の表面に向かって有機材料を含むペレットを気化する熱物理蒸着源であって、
(a)各々有機材料の圧縮ペレットを受け入れる複数の間隔の開いた通路を画定するハウジングと、
(b)前記ハウジングの前記間隔の開いた通路に対応する第1の複数の開口を備えた、前記ハウジングの上のカバープレートと、
(c)前記カバープレートの上に配置した電気ヒータ構造体と、
(d)前記電気ヒータ構造体の上に配置し少なくとも1つのアパーチャを有するアパーチャプレートと、
(e)前記電気ヒータ構造体と係合する前記アパーチャプレートとの間に配置し、前記カバープレートの前記第1の複数の開口及び前記ハウジングの前記間隔の開いた通路に対応する少なくとも1つの開口を有する電気絶縁性スペーサ部材と、
(f)前記ペレットを気化し、材料の蒸気流出が前記カバープレートの前記第1の複数の開口、前記ヒータ構造体、前記電気絶縁性スペーサ部材及び前記アパーチャプレートの前記アパーチャを通過して前記基板に向かうようにする十分な熱を発生するため電流を前記電気ヒータ構造体に印加する手段とを備える熱物理蒸着源。
IPC (3件)：
C23C 14/24
, H05B 33/10
, H01L 51/50
C23C14/24 A
, H05B33/10
, H05B33/14 A
3K107AA01
, 3K107BB01
, 3K107CC33
, 3K107CC45
, 3K107GG04
, 3K107GG34
, 4K029AA24
, 4K029BA62
, 4K029BC00
, 4K029CA01
, 4K029DB06
, 4K029DB08
, 4K029DB12
, 4K029DB13
, 4K029DB18
