特許

J-GLOBAL ID：200903028419394650

荷電粒子線装置

発明者： 水野 文夫
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-068109
公開番号（公開出願番号）：特開平11-265675
出願日： 1998年03月18日
公開日（公表日）： 1999年09月28日
要約：

【要約】【課題】光学顕微鏡と荷電粒子線を用いた顕微鏡間の像コントラスト形成要因の違い故の諸欠点を解決する。【解決手段】本発明では上記課題を解決するために、荷電粒子源と、該荷電粒子源から放出される荷電粒子線を試料に照射して得た荷電粒子に基づいて試料像を表示する表示装置を備えた荷電粒子線装置において、前記荷電粒子線の視野を含む照射領域を有する光学顕微鏡を備え、該光学顕微鏡による試料像を形成する機能を有する過電流視線装置を提供する。

請求項（抜粋）：

荷電粒子源と、該荷電粒子源から放出される荷電粒子線を試料に照射して得た荷電粒子に基づいて試料像を表示する表示装置を備えた荷電粒子線装置において、前記荷電粒子線の視野を含む照射領域を有する光学顕微鏡を備え、該光学顕微鏡による試料像を形成する機能を有することを特徴とする荷電粒子線装置。

IPC (4件)：

H01J 37/22 502 ,  H01J 37/22 ,  H01J 37/12 ,  H01J 37/141

FI (4件)：

H01J 37/22 502 L ,  H01J 37/22 502 A ,  H01J 37/12 ,  H01J 37/141 Z