特許
J-GLOBAL ID：200903028420911219
カンチレバー型プローブ、及びそれを有する走査型トンネル顕微鏡並びに情報処理装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
豊田 善雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-229682
公開番号（公開出願番号）：特開平7-063548
出願日： 1993年08月24日
公開日（公表日）： 1995年03月10日
要約：
【要約】【目的】 走査型トンネル顕微鏡(STM)や情報処理装置に用いられ、変位のダイナミックレンジを広く得るカンチレバー型プローブを提供する。【構成】 基板11上に形成された固定電極12と、基板11上に支持された対向電極を兼ねる導電性のカンチレバー15と、この自由端部に設けられた探針15とを備える静電駆動方式のカンチレバー型プローブにおいて、カンチレバー15の固定電極12方向への変形を抑制する構造部材14を設けたことを特徴とする。【効果】 表面の凹凸や段差が比較的大きな試料や記録媒体に対しても、良好なSTM測定や記録再生を行うことが可能である。
請求項（抜粋）：
基板上に形成された固定電極と、該固定電極に対向する対向電極を有し前記基板上に支持されたカンチレバーと、該カンチレバーの自由端部に設けられた探針とを備え、前記固定電極と前記対向電極間に電圧を印加して、前記カンチレバーを変位させうるカンチレバー型プローブにおいて、前記カンチレバーの前記固定電極方向への変形を抑制する構造部材を設けたことを特徴とするカンチレバー型プローブ。
IPC (3件)：
G01B 21/30
, G11B 9/00
, H01J 37/28
