特許

J-GLOBAL ID：200903028423942433

オンチップレンズ付カラー固体撮像素子とその製造方法

発明者： 名取 太知
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 尾川 秀昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-172457
公開番号（公開出願番号）：特開2000-012814
出願日： 1998年06月19日
公開日（公表日）： 2000年01月14日
要約：

【要約】【課題】 オンチップレンズ付カラー固体撮像素子の分光の調整が容易なるようにする。【解決手段】 オンチップレンズ18、18,・・・を曲率、厚さが各画素毎に均一になるように形成し、その表面に薄いカラーフィルタ膜19r、19g、19bを形成し、該カラーフィルタ膜19r、19g、19bの厚さtr 、tg、tb を各色毎に所望の分光特性が得られるように設定された値にする。

請求項（抜粋）：

各画素に対応してその受光素子に集光するオンチップレンズを備えたオンチップレンズ付カラー固体撮像素子において、上記オンチップレンズの曲率、厚さを各画素毎に均一に形成し、上記オンチップレンズの表面に薄いカラーフィルタ膜を形成し、上記カラーフィルタ膜の厚さを各色毎に所望の分光特性が得られるように設定された値にしてなることを特徴とするオンチップレンズ付カラー固体撮像素子。

IPC (3件)：

H01L 27/14 ,  H04N 5/335 ,  H04N 9/07

FI (3件)：

H01L 27/14 D ,  H04N 5/335 V ,  H04N 9/07 D

Fターム (31件)：

4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA10 ,  4M118BA14 ,  4M118CA02 ,  4M118CA27 ,  4M118CA32 ,  4M118CA40 ,  4M118FA06 ,  4M118FA08 ,  4M118GB11 ,  4M118GC07 ,  4M118GC08 ,  4M118GC09 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07 ,  5C024AA01 ,  5C024CA12 ,  5C024CA31 ,  5C024DA01 ,  5C024EA04 ,  5C024EA08 ,  5C024FA01 ,  5C024GA01 ,  5C024GA51 ,  5C065BB01 ,  5C065BB42 ,  5C065CC01 ,  5C065DD01 ,  5C065EE10 ,  5C065EE11