特許

J-GLOBAL ID：200903028424564289

加熱型トラップ装置および成膜装置

発明者： 鈴木 順一 ,  柿崎 智
出願人/特許権者： 国際電気株式会社
代理人 (1件)： 石戸 久子 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-144662
公開番号（公開出願番号）：特開2000-070664
出願日： 1999年05月25日
公開日（公表日）： 2000年03月07日
要約：

【要約】【課題】 成膜成分等を十分に付着させることができて、成膜装置内部が剥落したパーティクルにより汚染されることを防止することができると共に、成膜成分等のトラップの設備のためにトラップ装置全体を大型化、複雑化することなく、低コスト化が実現できるトラップ装置および成膜装置を提供する。【解決手段】 排ガスの通路に複数の加熱プレート54a,54b,〜,54hを配置し、排ガスに対する折り返し流路を形成している。加熱プレートおよび周辺は、成膜装置の内部と同様な成膜温度に加熱することができるので、排ガスの中の残留成膜ガスの成分は、加熱型トラップ装置内部で成膜を行う。また、加熱源を排気管外に設けなくても良く、さらに折返し流路が形成されているので、排気トラップ形状を小型化でき、排気ガスの捕集効果も高くなる。

請求項（抜粋）：

成膜装置における成膜室と排気配管との間に装着され、前記成膜室から排気配管に排出される排ガスから成膜に用いられた後の残留成分を除去する加熱型トラップ装置において、前記排気配管内に板状の発熱体を配し、該発熱体により折返し流路を形成したことを特徴とする加熱型トラップ装置。

IPC (2件)：

B01D 53/34 ZAB ,  H01L 21/205

FI (2件)：

B01D 53/34 ZAB Z ,  H01L 21/205