特許

J-GLOBAL ID：200903028428805850

ガラス基板移載装置

発明者： 松元 増男
出願人/特許権者： 鹿児島日本電気株式会社
代理人 (1件)： 机 昌彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-014110
公開番号（公開出願番号）：特開2003-218187
出願日： 2002年01月23日
公開日（公表日）： 2003年07月31日
要約：

【要約】【課題】ガラス基板を焼成炉に搬入及び搬出する際、ガラス基板の割れや位置ずれを検知することによって、炉詰まり現象を回避するとともに、割れや位置ずれが発生したガラス基板をリジェクトし、設備の安定稼動を図る。【解決手段】ガラス基板2を焼成炉に搬入及び搬出する際、炉内専用搬送プレート3上にガラス基板2を受け渡しする移載ハンド1aと、ガラス基板2の受け渡しの際、ガラス基板2を炉内専用搬送プレート3上から浮かせるための突上げピン10を有する突上げユニット4とを備えたガラス基板移載装置5aにおいて、突上げピン10によってガラス基板2を昇降させる際に、ガラス基板2の割れの有無及び炉内専用搬送プレート3に対するガラス基板2の位置ずれの有無を検知する透過型光学センサA〜Jを備えている。

請求項（抜粋）：

ペースト等が塗布されたガラス基板を焼成炉に搬入及び搬出する際、炉内専用搬送プレート上にガラス基板を受け渡しする移載ハンドと、ガラス基板受け渡しの際、ガラス基板を炉内専用搬送プレート上から浮かせるための突上げピンを有する突上げユニットとを備えたガラス基板移載装置において、前記突上げピンによってガラス基板を昇降させる際に、ガラス基板の割れの有無及び炉内専用搬送プレートに対するガラス基板の位置ずれの有無を検知する透過型光学センサを備えたことを特徴とするガラス基板移載装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  B65G 49/06

FI (3件)：

H01L 21/68 F ,  H01L 21/68 A ,  B65G 49/06 Z

Fターム (18件)：

5F031CA05 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031GA15 ,  5F031GA36 ,  5F031GA53 ,  5F031HA33 ,  5F031HA57 ,  5F031HA58 ,  5F031HA60 ,  5F031JA05 ,  5F031JA17 ,  5F031JA22 ,  5F031JA28 ,  5F031JA36 ,  5F031MA30 ,  5F031PA18 ,  5F031PA20