振動ジャイロ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡田全啓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-291732
公開番号（公開出願番号）：特開平9-105636
出願日： 1995年10月12日
公開日（公表日）： 1997年04月22日
要約：

【要約】【課題】低背化が図られしかも特性が安定である、振動ジャイロを提供する。【解決手段】振動ジャイロ10は基板12を含む。基板12の一方主面上には、2つの支持部材14aおよび14bで、振動子16が支持される。振動子16の振動体18の3つの側面には、圧電素子20a,20bおよび20cが形成される。圧電素子20cは、たとえば発振回路からなる駆動回路の入力端に接続され、その駆動回路の出力端は、それぞれの抵抗を介して、圧電素子20aおよび20bに接続される。圧電素子20aおよび20bは、たとえば差動回路からなる検出回路の2つの入力端にそれぞれ接続される。駆動回路、検出回路および抵抗などの回路部品22は、基板12の一方主面上において振動子18の横に設けられ、基板12の他方主面上のパターン電極などを介して、圧電素子20a,20bおよび20cに接続される。さらに、基板12の一方主面には、たとえばパーマロイからなるコ字形のカバー24が、振動子16を覆うようにして設けられる。

請求項（抜粋）：

基板、前記基板の一方主面上に支持される振動子、および前記基板の一方主面上で前記振動子の周囲に設けられる回路部品を含む振動ジャイロにおいて、前記振動子が、前記振動子から見て対称な形状の内壁を有するカバーで覆われたことを特徴とする、振動ジャイロ。

IPC (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

FI (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

引用特許：

審査官引用 (7件)

振動ジヤイロ
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-194919 出願人：株式会社村田製作所
特開昭55-121726
振動ジャイロ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-005291 出願人：株式会社村田製作所

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