特許

J-GLOBAL ID：200903028442718048

光学装置

発明者： 菅沼 洋
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-360263
公開番号（公開出願番号）：特開2002-162655
出願日： 2000年11月27日
公開日（公表日）： 2002年06月07日
要約：

【要約】【課題】 輪帯状のビーム形状とされた光を簡便に且つ効率よく得る。【解決手段】 紫外線固体レーザ2から出射したレーザ光を、2軸性複屈折結晶14に入射させる。そして、この2軸性複屈折結晶14により、レーザ光を輪帯状のビーム形状とし、対物レンズ17によって半導体ウエハ30に集光する。すなわち、いわゆるアポダイゼーションを利用した光学系を、2軸性複屈折を有する非線形光学結晶(2軸性複屈折結晶14)により実現する。

請求項（抜粋）：

所定の波長域の光を出射する光源と、2軸性複屈折を有し、上記光源から出射した光が入射されて、この光を輪帯状のビーム形状とする非線形光学結晶と、上記非線形光学結晶から出射した光を集光する集光レンズとを備えていることを特徴とする光学装置。

IPC (4件)：

G02F 1/35 ,  G01N 21/956 ,  G11B 7/135 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G02F 1/35 ,  G01N 21/956 A ,  G11B 7/135 A ,  H01L 21/30 515 D

Fターム (24件)：

2G051AA51 ,  2G051AB07 ,  2G051BA05 ,  2G051BA10 ,  2G051BB01 ,  2G051BB20 ,  2G051BC05 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051EA12 ,  2K002AA04 ,  2K002AA05 ,  2K002BA01 ,  2K002CA02 ,  2K002DA01 ,  2K002GA10 ,  5D119AA22 ,  5D119FA05 ,  5D119FA30 ,  5D119JA29 ,  5D119JB02 ,  5F046CB05 ,  5F046CB12 ,  5F046CB27