特許
J-GLOBAL ID：200903028449542549
光表面実装用光学反射鏡形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
草野 卓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-190109
公開番号（公開出願番号）：特開平5-034526
出願日： 1991年07月30日
公開日（公表日）： 1993年02月12日
要約：
【要約】【目的】 高反射率かつ充分な反射面を有する光学反射鏡を形成する。【構成】 光導波路12が形成された基板11に光導波路12と交差し、基板表面11aと傾斜した溝21を機械加工とエッチング加工とを用いて形成することにより、溝21と光導波路12との境界に滑らかな面を有する光学反射鏡22を形成する。
請求項（抜粋）：
光導波路が形成された基板に上記光導波路と交差し、基板表面と傾斜した溝を形成することにより、その溝と光導波路との境界にその光導波路と外部との間で光の入出射を可能とする光学反射鏡を形成する方法において、上記溝の形成に機械加工とエッチング加工とを用いることを特徴とする光表面実装用光学反射鏡形成方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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