特許
J-GLOBAL ID：200903028457283323
薬液塗布装置
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-298896
公開番号（公開出願番号）：特開平11-128817
出願日： 1997年10月30日
公開日（公表日）： 1999年05月18日
要約：
【要約】【課題】吐出ノズルより被塗布物上に薬液の吐出した後、被塗布物上に薬液の塗布を行う塗布装置において、所定量かつ、異物および気泡を含まない薬液の吐出を行うことのできる塗布装置を提供する。【解決手段】吐出ノズルと、吐出ノズルに薬液を供給する配管と、配管途中に設けられた開閉バルブとからなる薬液吐出手段を具備し、薬液吐出手段より被塗布物上に薬液の吐出を行う薬液塗布装置において、薬液吐出手段が、前記開閉バルブと吐出ノズルとの間、かつ、吐出ノズル近傍の配管に配設した異物除去用フィルタと、前記異物除去用フィルタをバイパスするバイパス配管と、開閉バルブ側のバイパス配管の分岐点と異物除去用フィルターとの間、および、前記バイパス配管の二箇所に設けた開閉バルブとを有することを特徴とする薬液塗布装置。
請求項（抜粋）：
少なくとも、吐出ノズルと、前記吐出ノズルに薬液を供給する配管と、前記配管途中に設けられた開閉バルブとからなる薬液吐出手段を少なくとも具備し、前記薬液吐出手段より被塗布物に薬液の吐出を行う薬液塗布装置において、前記薬液吐出手段が、?@開閉バルブの直後に設けたサックバルブと、?A前記サックバルブと吐出ノズルとの間、かつ、吐出ノズル近傍の配管に配設した異物除去用フィルターと、?Bサックバルブ側の配管と吐出ノズル側の配管とを結び、前記異物除去用フィルターをバイパスするバイパス配管と、?C前記バイパス配管のサックバルブ側の分岐点と異物除去用フィルターとの間、および、前記バイパス配管上の二箇所に設けた開閉バルブ、とを有することを特徴とする薬液塗布装置。
IPC (5件)：
B05C 11/10
, B05C 11/08
, G02F 1/13 101
, G03F 7/16 501
, H01L 21/027
B05C 11/10
, B05C 11/08
, G02F 1/13 101
, G03F 7/16 501
, H01L 21/30 564 Z
