特許
J-GLOBAL ID：200903028459715050
エツチング装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高島 一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-177351
公開番号（公開出願番号）：特開平5-001390
出願日： 1991年06月21日
公開日（公表日）： 1993年01月08日
要約：
【要約】【構成】 エッチング槽10内に複数の被エッチング材18を支持可能な支持部14を有したホルダー12を設け、ホルダー12をエッチング槽10内で駆動手段によって反復回転および上下動して、被エッチング材18にエッチングを施すものである。【効果】 同時に複数の被エッチング材18のエッチングが行え、しかも各被エッチング材18を均一にエッチングできる。
請求項（抜粋）：
エッチング槽と、このエッチング槽内に設けられ複数の被エッチング材を支持可能な支持部を有したホルダーと、このホルダーを前記エッチング槽内で反復回転および上下動させる駆動手段とを備えたエッチング装置。
IPC (2件)：
C23F 1/08 102
, H01L 21/306
