特許

J-GLOBAL ID：200903028461970246

走査型投影露光装置および露光方法

発明者： 熊澤 雅人
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-366266
公開番号（公開出願番号）：特開2000-187332
出願日： 1998年12月24日
公開日（公表日）： 2000年07月04日
要約：

【要約】【課題】 感光性基板の交換動作を複雑にすることなく、感光性基板の変形に応じて投影倍率を随時調整することのできる走査型投影露光装置。【解決手段】 第1基板(10)のパターンの像を第2基板(30)上に形成するための複数の投影光学ユニット(PL)を有する。各投影光学ユニットは、屈折光学系と凹面反射鏡とを含む結像光学系(HK1、HK2)と、第1基板からの光を結像光学系へ導くための第1偏向部材(P1r)と、結像光学系を介した光を第2基板へ導くための第2偏向部材(P4r)とを有する。第1偏向部材と結像光学系との間の光路中、結像光学系と第2偏向部材との間の光路中、または結像光学系内の光路中には、第2基板の形状変化に応じて投影光学ユニットの投影倍率を調整するための倍率調整部材(CM)が設けられている。

請求項（抜粋）：

投影光学系に対して第1基板および第2基板を移動させて、前記第1基板に形成されたパターンを前記投影光学系を介して前記第2基板上へ投影露光する走査型投影露光装置において、前記投影光学系は、前記第1基板および前記第2基板の移動方向を横切る所定方向に沿って配列されて、前記第1基板のパターンの像を前記第2基板上に形成するための複数の投影光学ユニットを有し、前記複数の投影光学ユニットの各々は、屈折光学系と凹面反射鏡とを含む結像光学系と、前記第1基板からの光を前記結像光学系へ導くための第1偏向部材と、前記結像光学系を介した光を前記第2基板へ導くための第2偏向部材とを有し、前記第1偏向部材と前記結像光学系との間の光路中、前記結像光学系と前記第2偏向部材との間の光路中、または前記結像光学系内の光路中には、前記第2基板の形状変化に応じて前記投影光学ユニットの投影倍率を調整するための倍率調整部材が設けられていることを特徴とする走査型投影露光装置。

IPC (2件)：

G03F 7/20 501 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

G03F 7/20 501 ,  H01L 21/30 518

Fターム (14件)：

2H097AA05 ,  2H097AA12 ,  2H097BA01 ,  2H097BB01 ,  2H097CA06 ,  2H097GA43 ,  2H097LA12 ,  5F046AA05 ,  5F046BA03 ,  5F046CB02 ,  5F046CB15 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046DA13