特許
J-GLOBAL ID:200903028465384015
PZT系圧電素子の分極方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
大川 宏
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-237404
公開番号(公開出願番号):特開平6-085345
出願日: 1992年09月04日
公開日(公表日): 1994年03月25日
要約:
【要約】【目的】シリコンオイルの使用を廃止しつつ、圧電体のスパーク割れを回避し、環境汚染、作業性の問題を改善できるPZT系圧電素子の分極方法を提供する。【構成】圧電体と圧電体の表裏両面に形成された一対の電極層とを備えたPZT系圧電素子を用いる。そして、70〜120°Cの大気中で、圧電体(厚み0.33mm)に400V〜870Vの電圧、即ち、1.2kV/mm〜2.6kV/mmの電界を印加し、圧電体を分極する。雰囲気はファンで攪拌し、均熱化を図る。
請求項(抜粋):
圧電体と該圧電体の表裏両面に形成された一対の電極層とを備えたPZT系圧電素子を用い、70〜120°Cの大気中で、該圧電体に1.2kV/mm〜2.6kV/mmの電界を印加して圧電体を分極することを特徴とするPZT系圧電素子の分極方法。
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