特許

J-GLOBAL ID：200903028476814461

赤外線検出素子

発明者： 友成 恵昭 ,  中邑 卓郎
出願人/特許権者： 松下電工株式会社
代理人 (1件)： 松本 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-284505
公開番号（公開出願番号）：特開平6-137936
出願日： 1992年10月22日
公開日（公表日）： 1994年05月20日
要約：

【要約】【目的】 微細加工技術が適用し易く、製造上の歩留りのよい赤外線検出素子を提供する。【構成】 温度変化に伴い抵抗値が変化する薄膜抵抗体を備え赤外線吸収により生じた熱で前記薄膜に温度変化が起こるようになっている赤外線検出部2が基板の上に設けられている赤外線検出素子1において、前記薄膜抵抗体が赤外線吸収機能を有する半導体薄膜11であることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

温度変化に伴い抵抗値が変化する薄膜抵抗体を備え赤外線吸収により生じた熱で前記薄膜に温度変化が起こるようになっている赤外線検出部が基板の上に設けられている赤外線検出素子において、前記薄膜抵抗体が赤外線吸収機能を有する半導体薄膜であることを特徴とする赤外線検出素子。

IPC (2件)：

G01J 1/02 ,  G01J 5/02

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-268773
  
• 特開平4-162683
  
• 特開昭63-243817
  
• 特開昭56-012521