特許

J-GLOBAL ID：200903028480712371

複合酸化物膜の製造方法

発明者： 福井 俊巳 ,  朝隈 直子 ,  林 紅
出願人/特許権者： 株式会社関西新技術研究所
代理人 (1件)： 間宮 武雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-063295
公開番号（公開出願番号）：特開2000-256862
出願日： 1999年03月10日
公開日（公表日）： 2000年09月19日
要約：

【要約】【課題】 高温での加熱処理を行わなくても複合酸化物の薄膜を得ることができる製造方法を提供する。【手段】 La、MnおよびCa、SrもしくはBaの各酸化物の原料成分を含む前駆体塗布液を基板の表面に塗布して成膜した後、基板上の薄膜に対し波長が360nm以下である光を照射して薄膜を結晶化させ、組成式(La1-xMx)MnO3-δ(M:Ca,Sr,Ba、0.09≦x≦0.50)で表されるペロブスカイト型構造を有する複合酸化物の薄膜を形成する。

請求項（抜粋）：

La、MnおよびCa、SrもしくはBaの各酸化物の原料成分を含む前駆体塗布液を被塗布物の表面に塗布して成膜した後、被塗布物表面に形成された薄膜を結晶化させて、組成式(La1-xMx)MnO3-δ(M:Ca,Sr,Ba、0.09≦x≦0.50)で表されるペロブスカイト型構造を有する複合酸化物の薄膜を形成する複合酸化物膜の製造方法において、前記前駆体塗布液を被塗布物の表面に塗布して成膜した後、被塗布物表面に形成された薄膜に対し波長が360nm以下である光を照射して薄膜を結晶化させることを特徴とする複合酸化物膜の製造方法。

IPC (5件)：

C23C 18/12 ,  B01J 19/12 ,  B05D 3/06 ,  C01G 45/00 ,  C01B 13/14

FI (5件)：

C23C 18/12 ,  B01J 19/12 C ,  B05D 3/06 Z ,  C01G 45/00 ,  C01B 13/14 Z

Fターム (38件)：

4D075BB48Z ,  4D075DB31 ,  4D075DC21 ,  4D075EB01 ,  4D075EC01 ,  4D075EC10 ,  4G042DA02 ,  4G042DB15 ,  4G042DC03 ,  4G042DD02 ,  4G042DE07 ,  4G042DE09 ,  4G042DE14 ,  4G048AA05 ,  4G048AB01 ,  4G048AC04 ,  4G048AD02 ,  4G048AE05 ,  4G048AE08 ,  4G075AA24 ,  4G075AA30 ,  4G075BB02 ,  4G075CA02 ,  4G075CA32 ,  4G075CA33 ,  4G075CA36 ,  4G075CA51 ,  4K022AA13 ,  4K022BA11 ,  4K022BA15 ,  4K022BA27 ,  4K022BA28 ,  4K022BA33 ,  4K022DA08 ,  4K022DB01 ,  4K022DB04 ,  4K022DB07 ,  4K022DB08