特許

J-GLOBAL ID：200903028481434510

樹脂用洗浄液および洗浄方法

発明者： 弓場 智之 ,  吉村 利夫
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-132885
公開番号（公開出願番号）：特開2000-319691
出願日： 1999年05月13日
公開日（公表日）： 2000年11月21日
要約：

【要約】【課題】耐熱性樹脂およびその前駆体組成物の溶解能力に優れ、容易に乾燥する洗浄液、および、耐熱性樹脂およびその前駆体組成物の回転塗布工程において、それら洗浄液をバックリンス液、サイドリンス液として用いる洗浄方法を得ること。【解決手段】耐熱性樹脂またはその前駆体組成物の洗浄液であって、該洗浄液が60〜100重量%のγ-ブチロラクトンを含むことを特徴とする洗浄液。

請求項（抜粋）：

耐熱性樹脂またはその前駆体組成物の洗浄液であって、該洗浄液が60〜100重量%のγ-ブチロラクトンを含むことを特徴とする洗浄液。

IPC (6件)：

C11D 7/26 ,  B08B 3/08 ,  C08L 79/08 ,  G03F 7/037 ,  G03F 7/42 ,  H01L 21/312

FI (6件)：

C11D 7/26 ,  B08B 3/08 Z ,  C08L 79/08 ,  G03F 7/037 ,  G03F 7/42 ,  H01L 21/312 B

Fターム (43件)：

2H025AA00 ,  2H025AB16 ,  2H025BC69 ,  2H025BC70 ,  2H025CB25 ,  2H025CB26 ,  2H025EA05 ,  2H025EA10 ,  2H025FA01 ,  2H096AA25 ,  2H096BA20 ,  2H096CA14 ,  2H096CA20 ,  2H096GA18 ,  2H096JA02 ,  3B201AA03 ,  3B201AB34 ,  3B201BB62 ,  3B201CC13 ,  3B201CC21 ,  4H003BA12 ,  4H003DA15 ,  4H003DB03 ,  4H003DC01 ,  4H003EB04 ,  4H003EB09 ,  4H003EB11 ,  4H003ED28 ,  4H003ED32 ,  4H003FA06 ,  4J002CM031 ,  4J002CM041 ,  4J002CN061 ,  4J002EL066 ,  4J002EP016 ,  4J002EU026 ,  4J002GQ05 ,  5F058AA10 ,  5F058AC02 ,  5F058AC07 ,  5F058AF04 ,  5F058AG03 ,  5F058AH01