特許

J-GLOBAL ID：200903028489146387

ガラス導波路の製造方法

発明者： 徳永 利秀 ,  岡野 広明 ,  鴨志田 敏和 ,  大槻 秀夫
出願人/特許権者： 日立電線株式会社
代理人 (1件)： 松本 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-224234
公開番号（公開出願番号）：特開平6-072729
出願日： 1992年08月24日
公開日（公表日）： 1994年03月15日
要約：

【要約】【目的】エッチング時間が短く量産性に優れ、かつエッチング面の状態に依存せず低損失化を図る。【構成】石英ガラス基板2上にコア用多孔質ガラス層1を形成する。多孔質ガラス層1の組成はTiO2 -P2 O5 -SiO2 系ガラスであり、この時のかさ密度は0.45g/cm3 である。多孔質ガラス層1の堆積した基板2を熱処理して、多孔質ガラス層1を多孔質ガラス状態のままかさ密度を高くして高かさ密度コア用多孔質ガラス層3に変え、熱処理後のかさ密度を0.8〜1、5g/cm3 とする。多孔質ガラス層3をエッチングしてコアパターン4を形成した後、クラッド用多孔質ガラス層5を形成する。多孔質ガラス層5の組成はP2 O5 -B2 O3 -SiO2 系ガラスである。コアパターン及びクラッド用多孔質ガラス層を同時に透明ガラス化してコア6、クラッド層7を形成してガラス導波路を製造する。

請求項（抜粋）：

石英系の基板上に石英系のコア用多孔質ガラス層を形成し、熱処理により多孔質状態のまま上記コア用多孔質ガラス層のかさ密度を高めた後、コアパターンを形成し、コアパターン形成後、石英系のクラッド用多孔質ガラス層を形成し、コア用多孔質ガラス層で形成されたコアパターン及びクラッド用多孔質ガラス層を同時に透明ガラス化することを特徴とするガラス導波路の製造方法。

IPC (2件)：

C03B 19/14 ,  G02B 6/12