特許
J-GLOBAL ID：200903028496948359
ウェーハの研磨方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小林 英一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-153025
公開番号（公開出願番号）：特開平5-326468
出願日： 1992年05月21日
公開日（公表日）： 1993年12月10日
要約：
【要約】【目的】 ウェーハの研磨方法を提供する。【構成】 ウェーハ3を接着した硬質プレート4を定盤1上に貼付された研磨布2面上で回転摺動させてウェーハ3を研磨する際に、ウェーハ3の周縁にウェーハの仕上がり厚さよりも薄い厚さとされるリングを装着した状態で研磨することにより、ウェーハの平坦度を改善して面だれの低減を図ることができる。
請求項（抜粋）：
ウェーハを接着した硬質プレートを定盤上に貼付された研磨布面上で回転摺動させてウェーハを研磨する方法において、ウェーハの周縁にウェーハの仕上がり厚さよりも薄い厚さとされるリングを装着した状態で研磨することを特徴とするウェーハの研磨方法。
IPC (2件)：
H01L 21/304 321
, B24B 37/04
