特許

J-GLOBAL ID：200903028502688046

絶縁性被膜または絶縁部材の厚さを測定する装置およびその測定方法

発明者： 則内 健司 ,  高村 誠
出願人/特許権者： 京都樹脂精工株式会社
代理人 (1件)： 加藤 恭介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-112354
公開番号（公開出願番号）：特開平6-300509
出願日： 1993年04月16日
公開日（公表日）： 1994年10月28日
要約：

【要約】【目 的】 測定開始に行なう0調整の回数が少なく、金属板がたとえ上下にぶれた状態でも正確な厚さが測定できる金属板上に形成された絶縁性被膜、または絶縁部材の厚さを測定する装置およびその測定方法を提供する。【構 成】 センサ部(11)は、静電容量電極(12)と渦電流電極(13)とを一組として同じ高さに設定されている。補正値設定部は、前記センサ部(11)における渦電流電極(13)によって金属板(15)の表面とセンサ部(11)との変位を測定する。静電容量検出部は、金属板(15)の表面とセンサ部(11)との間の静電容量を測定する。厚さ演算部は、前記静電容量検出部から得られた値を前記補正値設定部から得られた補正値によって金属板(15)上の絶縁性被膜(16)の厚さを演算する。また、絶縁部材だけの場合でも、上記と同様に厚さを測定できる。

請求項（抜粋）：

金属板上に形成された絶縁性被膜の厚さを測定する装置において、静電容量電極と渦電流電極とを一組としたセンサ部と、当該センサ部における渦電流電極によって金属板の表面とセンサ部との変位を測定し、金属板の表面とセンサ部との補正距離を得る補正値設定部と、前記センサ部における静電容量電極によって金属板の表面とセンサ部との間の静電容量を測定する静電容量検出部と、当該静電容量検出部から得られた値を前記補正値設定部から得られた補正値によって上記金属板上の絶縁性被膜の厚さを演算する厚さ演算部と、を備えたことを特徴とする金属板上に形成された絶縁性被膜の厚さを測定する装置。

IPC (3件)：

G01B 7/08 ,  G01B 7/00 ,  G01B 7/10

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭56-135101
  
• 特開昭53-132367