特許
J-GLOBAL ID：200903028506032145
静電容量型圧力センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-156294
公開番号（公開出願番号）：特開平11-002578
出願日： 1997年06月13日
公開日（公表日）： 1999年01月06日
要約：
【要約】【課題】 複数接続された暖房端末器に要求通りの温度の温水を供給する。【解決手段】 エアコン等の高温暖房端末器14につながる温水回路は、熱交換器1で加熱された高温水が直接搬送される回路と、熱交換器1の手前で分岐された低温水が流れるパイパス経路15と、高温端末器につながる往き接続口手前から分岐した回路を流れる加熱された高温水とが合流して床暖房等の低温暖房端末器13に供給する回路で構成されている。これによって、バイパス経路15に低温水量を制御する水量可変装置が設けられているため、低温暖房端末器13に送る温水温度を高温水温度に影響されることなく任意に調整することができる。
請求項（抜粋）：
第一の電極を有するダイヤフラムと、前記第一の電極に所定の間隔をあけて対向し第二の電極を有する固定基板と、前記ダイアフラムおよび前記固定基板を接合する接着層とを備えていて、前記ダイヤフラムに作用する圧力を前記第一の電極と第二の電極間の静電容量の変化として検知する静電容量型圧力センサにおいて、前記固定基板に前記接着層を囲む環状の溝を有し、前記溝によって前記接着層の流動を抑制するようにしたことを特徴とする静電容量型圧力センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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