特許
J-GLOBAL ID:200903028507486778

気体膨脹型エネルギー測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 松井 伸一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-349470
公開番号(公開出願番号):特開平5-157623
出願日: 1991年12月09日
公開日(公表日): 1993年06月25日
要約:
【要約】【目的】 比較的簡単に製造・組立を行うことができ、測定精度の高い気体膨張型エネルギー測定装置を提供すること。【構成】 入射された電磁波のエネルギーを吸収する吸収膜3を内蔵する小室2と、その小室の他端面に形成された開口部を覆うようにして装着された可撓性膜8とを備え、前記吸収膜で吸収される電磁波のエネルギーの量に応じて可撓性膜の膨出量が変化するようになっている。そして、この可撓性膜の膨出量を検出する装置が、可撓性膜に光を照射する光源16と、その光源と前記可撓性膜との間に配置されたマイケルソン干渉計15と、そのマイケルソン干渉計から出射される干渉鏡を検出する光電検出器22とからなる。さらに、マイケルソン干渉計が、ビームスプリッタ18と、固定鏡19と、可撓性膜の外面に設けられた反射鏡8aとからなり、この反射鏡が移動鏡となる。
請求項(抜粋):
測定対象である電磁波のエネルギーを吸収する吸収部材を有する小室と、その小室の一端面に形成され前記電磁波を前記小室内に入射させる窓孔と、前記小室の他端面に形成された開口部を覆うようにして装着された可撓性膜とを備え、前記吸収部材で吸収される前記電磁波のエネルギーの量に応じて変動する前記可撓性膜の膨出量を検出することにより前記エネルギーを測定するようにした気体膨脹型エネルギー測定装置において、前記可撓性膜の膨出量を検出する手段が、前記可撓性膜に光を照射する光源と、その光源と前記可撓性膜との間に配置された二光束干渉計と、前記二光束干渉計から出射される干渉光を検出する検出手段とを備え、かつ前記可撓性膜の外側面を前記二光束干渉計の有する移動鏡として使用するようにしたことを特徴とする気体膨脹型エネルギー測定装置。
IPC (2件):
G01J 1/02 ,  G01B 9/02
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開昭59-040219
  • 特開平3-269346

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