特許

J-GLOBAL ID：200903028508075976

高解像顕微鏡

発明者： 高岡秀行
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 韮澤 弘 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-113485
公開番号（公開出願番号）：特開平11-305133
出願日： 1998年04月23日
公開日（公表日）： 1999年11月05日
要約：

【要約】【課題】 複雑な機構を必要とせず容易に超解像を実現できる高解像顕微鏡。【解決手段】 光通過順に、光源1、コレクターレンズ2、偏光分離光学系51、ポラライザー3、コンデンサーレンズ5、試料6、対物レンズ7、偏光合成光学系52、結像レンズ10を含み、偏光分離光学系51は入射光束を偏光方向が直交した2つの照明光束に分離し、偏光合成光学系52は試料6から回折された偏光方向の異なる回折光を合成し、偏光分離光学系、偏光合成光学系共偏光ビームスプリッターとミラーを含み、これらミラーはそれら光学系に入射した光が偏光ビームスプリッターを2度通過するように構成されており、分離された2つの照明光束が照明光学系の瞳面上でそれぞれ異なる位置を通過し、それぞれの照明光束の中、同一の光線から分離された一対の光線が試料面上の同一の点を照射する。

請求項（抜粋）：

光源からの光を照明光学系に導くコレクターレンズ、試料を照明する照明光学系、試料からの回折光を取り込む対物レンズを備えて構成される顕微鏡において、コレクターレンズと照明光学系の間に、入射光束を偏光方向が直交した2つの照明光束に分離する偏光分離光学系を配置し、対物レンズと像検出位置の間に、前記照明光束により試料から回折された偏光方向の異なる回折光を合成する偏光合成光学系を配置し、前記偏光分離光学系は偏光ビームスプリッターとミラーを含み、前記ミラーは前記偏光分離光学系に入射した光が、前記偏光ビームスプリッターを2度通過するように構成され、前記2つの照明光束が前記照明光学系の瞳面上でそれぞれ異なる位置を通過し、それぞれの照明光束の中、同一の光線から分離された一対の光線が試料面上の同一の点を照射するように構成され、前記偏光合成光学系は偏光ビームスプリッターとミラーを含み、前記ミラーは前記偏光合成光学系に入射した光が、前記偏光ビームスプリッターを2度通過するように構成されることを特徴とする高解像顕微鏡。