超微粒子物質の製造方法および超微粒子物質のコーティング方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：森本直之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-233397
公開番号（公開出願番号）：特開2002-045684
出願日： 2000年08月01日
公開日（公表日）： 2002年02月12日
要約：

【要約】【課題】極めて粒子径の小さい超微粒子を安定した品質で安価に製造することができる超微粒子物質の製造方法を提供する。【解決手段】複数の電極2を先端に向かって徐々に狭くなるよう配置し、上記各電極2間に三相電圧を印加することにより、各電極2間にアーク11を発生させ、上記アーク11中に反応物質を存在させることにより、アーク11中で分解した雰囲気物質から発生する原子と、アーク11中で蒸発した反応物質のガスとを反応させて超微粒子物質を生成する。このように、雰囲気物質から発生する原子とアーク中で蒸発した反応物質のガスとを反応させて超微粒子物質を生成するため、極めて粒子径の小さい超微粒子を安定した品質で安価に製造することができる。

請求項（抜粋）：

複数の電極を先端に向かって徐々に狭くなるよう配置し、上記各電極間に順次相が異なる電圧を印加することにより、各電極間にアークを発生させ、上記アーク中に反応物質を存在させることにより、アーク中で分解した雰囲気物質から発生する原子と、アーク中で蒸発した反応物質のガスとを反応させて超微粒子物質を生成するようにしたことを特徴とする超微粒子物質の製造方法。

IPC (6件)：

B01J 19/08 , B22F 9/02 , C01B 13/14 , C01B 21/06 , C01B 31/30 , C04B 35/626

FI (6件)：

B01J 19/08 J , B22F 9/02 A , C01B 13/14 Z , C01B 21/06 M , C01B 31/30 , C04B 35/00 A

Fターム (45件)：

4G030AA07 , 4G030AA08 , 4G030AA16 , 4G030AA17 , 4G030AA23 , 4G030AA24 , 4G030AA36 , 4G030AA45 , 4G030AA47 , 4G030AA48 , 4G030AA49 , 4G030GA01 , 4G042DA01 , 4G042DB05 , 4G042DB16 , 4G042DB17 , 4G042DB24 , 4G042DB35 , 4G042DD02 , 4G042DD04 , 4G042DE16 , 4G046MA07 , 4G046MA09 , 4G046MA14 , 4G046MB02 , 4G046MB03 , 4G046MC03 , 4G046MC06 , 4G075AA24 , 4G075AA27 , 4G075AA30 , 4G075BA01 , 4G075CA17 , 4G075CA62 , 4G075DA02 , 4G075EA05 , 4G075EB01 , 4G075EC01 , 4G075EE31 , 4G075FC09 , 4K017AA06 , 4K017BA09 , 4K017CA08 , 4K017EF02 , 4K017EF04

引用特許：

審査官引用 (7件)

プラズマアーク法によるC3N4の合成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-302290 出願人：並木精密宝石株式会社
新素材の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-193079 出願人：佐藤亮拿
半導体等の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-196793 出願人：佐藤亮拿

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