特許
J-GLOBAL ID：200903028517389258
イオン注入制御装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
原 謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-029681
公開番号（公開出願番号）：特開平9-082266
出願日： 1996年02月16日
公開日（公表日）： 1997年03月28日
要約：
【要約】【課題】 注入条件に応じた適切なパラメータ監視を行い、従来では検出できなかったような不適正な運転状態の検出を可能とし、イオン注入装置の信頼性を高める。【解決手段】 予め複数の注入条件に対して適正パラメータ値として基本運転パラメータが登録されており、基本運転パラメータに基づいてイオン注入装置の自動立上げを行うイオン注入制御装置であって、登録されている注入条件毎に、イオン注入装置の異常の判断基準となるパラメータ監視情報を設ける。オペレータによって注入条件が与えられたとき(S1)、当該注入条件に対するパラメータ監視情報を取得し(S2)、このパラメータ監視情報を用いてイオン注入装置の異常の有無を判断する(S6およびS7)。
請求項（抜粋）：
所望の注入条件になるようにイオン注入装置の各部の動作を制御するイオン注入制御装置において、パラメータ異常の判断基準となるパラメータ監視情報を、複数の注入条件毎に設定入力するための設定入力手段と、上記設定入力手段にて設定入力された注入条件毎のパラメータ監視情報を記憶する記憶手段と、所望の注入条件に応じたパラメータ監視情報を上記記憶手段から読み出し、当該パラメータ監視情報に基づいて、少なくともイオン注入処理が行われるまでにイオン注入装置の異常の有無を判断するパラメータ監視手段とを備えていることを特徴とするイオン注入制御装置。
IPC (3件)：
H01J 37/317
, C23C 14/48
, H01L 21/265
H01J 37/317 C
, C23C 14/48 B
, H01L 21/265 D
, H01L 21/265 T
