特許
J-GLOBAL ID：200903028518997782
ダイシング装置のカセットテーブル
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
秋元 輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-174756
公開番号（公開出願番号）：特開平7-078794
出願日： 1993年06月22日
公開日（公表日）： 1995年03月20日
要約：
【要約】【目的】 カセット載置領域が狭くてもカセットの着脱を容易に出来るようにした、ダイシング装置のカセットテーブルを得る。【構成】 カセットを載置し、このカセットにウェーハをウェーハを出し入れするため上下動可能に形成されたダイシング装置のカセットテーブルにおいて、このカセットテーブルはスライド手段により引き出し式に構成されており、カセット着脱領域と、昇降領域に位置付けられる。
請求項（抜粋）：
カセットを載置し、このカセットにウェーハを出し入れするため上下動可能に形成されたダイシング装置のカセットテーブルにおいて、このカセットテーブルはスライド手段により引き出し式に構成されており、カセット着脱領域と、昇降領域に位置付けられることを特徴とするダイシング装置のカセットテーブル。
IPC (4件)：
H01L 21/301
, B23Q 7/10
, B65G 49/07
, H01L 21/68
